光刻版夹具

摘要：

本实用新型公开了一种光刻版夹具，包括一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔，或所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。本实用新型对光刻版的表面冲洗更充分，清洗效果好，且光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起，夹具与光刻版的接触面积很小，可以很好地保护光刻版特别是版图面不受损坏。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820092598.1

申请日期：2008-03-14

公开/公告号：CN201188170

公开/公告日：2009-01-28

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:深圳深爱半导体有限公司

发明/设计人:王友旺

主申请人地址:518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼

专利代理机构:广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人:郑小粤

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1、一种光刻版夹具，其特征在于，包括：一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。