一种药液储液装置及药液供给系统
本实用新型公开了一种药液储液装置及药液供给系统，储液装置包括储液槽，及其进液开关，储液槽的进液开关前端还设有排液开关；药液供给系统包括混液装置及储液装置，混液装置及储液装置之间通过管路连接，储液装置包括储液槽，及其进液开关。本实用新型采用带有排液阀的储液槽，用于药液供给系统，由于增设排除废液的排液阀，该药液供给系统的循环路径大大缩短，两槽之间的输送管道缩短一半。因此，无论该系统的基础建设的设备成本，还是系统运行的动力成本，都得到了很大程度上的节省，同时，由于在每次用药之前，排除管道中残余变质药液，使得药液纯度变化偏差非常小，在后续的光刻工艺中，极大地提高了工艺精度，使得产品成品率得到显著提高。
实用新型
CN200820035590.1
2008-04-24
CN201188172
2009-01-28
G03F7/16(2006.01)I
昆山维信诺显示技术有限公司%清华大学%北京维信诺科技有限公司
邱 勇;陈剑雄;张 明;张绍林
215300江苏省昆山市昆山高新区晨丰路188号
江苏;32
1、一种药液储液装置，包括储液槽，及其进液开关，其特征在于，所述储液槽的进液开关前端还设有排液开关。