基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置

摘要：

本实用新型涉及一种液压系统功率测量装置，尤其是基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置。该装置主要由流量传感器，压力传感器，信号处理单元三大部分组成。流量测量装置将MEMS敏感芯体置于异径管内部，取消了传统流量计需要引压到管外的结构。压力传感器测量所在管路的压力信号。根据流量—压力—功率数学关系模型，实现对液压系统功率的测量。本实用新型实现了液压系统流量，压力以及功率的在线测量，为液压系统状态监测以及故障诊断提供了合适的解决方案。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820015110.5

申请日期：2008-08-12

公开/公告号：CN201241896

公开/公告日：2009-05-20

主分类号：F15B19/00(2006.01)I

申请/专利权人:大连海事大学

发明/设计人:张洪朋;顾长智;张银东;梅 涛;陈海泉;孙玉清

主申请人地址:116026辽宁省大连市凌海路1号

专利代理机构:大连八方知识产权代理有限公司

代理人:卫茂才

国别省市代码:辽宁;21

权利要求：

1、基于MEMS异径管流量传感器的液压系统功率测量装置，其特征在于，该装置由测量管(1)、异径管(2)、支撑架(5)、信号采集处理设备(7)、压力传感器(8)及流量传感器部分的MEMS敏感芯体(3)、信号线(4)、流量计二次仪表(6)构成；异径管(2)通过支撑架(5)固定在测量管(1)内部与测量管(1)保持同轴，异径管(2)开口方向与液流方向相反；MEMS敏感芯体(3)封装在异径管(2)壁上进行测量；MEMS敏感芯体(3)的两个压力测量口分别接触高压、低压流体；信号线(4)与MEMS敏感芯体(3)连接后引出测量管(1)至流量计二次仪表(6)；流量计二次仪表(6)和压力传感器(8)与信号采集处理设备(7)连接。