光罩导引装置

摘要：

本实用新型关于一种光罩导引(guide)装置，包括一光罩、一承载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；该承载板用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820008244.4

申请日期：2008-03-12

公开/公告号：CN201181390

公开/公告日：2009-01-14

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:钰衡科技股份有限公司

发明/设计人:郑玉纶

主申请人地址:中国台湾台南县安定乡中沙村沙仑39－5号

专利代理机构:北京申翔知识产权代理有限公司

代理人:周春发

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1.一种光罩导引装置，其特征在于，包括： 一用以溅镀导电图案于一工件上的光罩，该光罩与工件 分别设有复数个对位标记； 一用以承载该光罩与工件的承载板，设有至少二定位挡 块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处； 至少一用以进行该光罩与工件对位的取像模块，设置于 该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及 至少二用以进行该光罩与工件定位的定位模块，分别设 置于该承载板二侧的凹陷处。