一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构

摘要：

本发明公开了一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其由飞秒双光子激光器、光渐变衰减器、滤波凸透镜、针孔滤波器、截取光阑、准直透镜、孔径光阑、超分辨衍射器和油浸物镜组成，飞秒双光子激光器至光敏树脂之间以光轴线对中顺次布置有光渐变衰减器、滤波凸透镜、针孔滤波器、截取光阑、准直透镜、孔径光阑、超分辨衍射器、油浸物镜。超分辨衍射器安装在油浸物镜上。本发明光路结构通过超分辨衍射器件改变了飞秒激光在焦点局域空间内的功率分布，使得旁瓣的光强大于双光子聚合的功率阈值，实现双光子微纳加工中的多点加工。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810247407.9

申请日期：2008-12-31

公开/公告号：CN101458451

公开/公告日：2009-06-17

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:北京航空航天大学

发明/设计人:魏 鹏;冯丽爽;张春熹

主申请人地址:100083北京市海淀区学院路37号

专利代理机构:北京永创新实专利事务所

代理人:周长琪

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征在于：所述的光路结构由飞秒双光子激光器(1)、光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波器(4)、截取光阑(5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)和油浸物镜(9)组成，飞秒双光子激光器(1)至光敏树脂(10)之间以光轴线对中顺次布置有光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波器(4)、截取光阑(5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)、油浸物镜(9)，超分辨衍射器(8)安装在油浸物镜(9)上。