300mm立式氧化炉双壁反应管

摘要：

本发明公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管，设有圆桶形石英材料的外管壁和内管壁，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层，外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管及连通内管壁的内腔与反应管外的出气管；在外管壁内焊接固定有两个偶管，在该偶管的下端焊接有一个半圆柱管，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设有一个用以安装热电偶的椭圆形开口。在反应管下面设有法兰盘，该法兰盘上设有一个定位凸块。本发明适用于立式氧化炉的炉体内使用，是硅片氧化的反应腔室，加工质量易于保证，结构完善，使用方便灵活。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810241154.4

申请日期：2008-12-31

公开/公告号：CN101526306

公开/公告日：2009-09-09

主分类号：F27B1/10(2006.01)I

申请/专利权人:北京七星华创电子股份有限公司

发明/设计人:钟 华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米

主申请人地址:100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种300mm立式氧化炉双壁反应管，其特征在于：设有圆桶形石英材料的外管壁(2)和内管壁(1)，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层(1.1)，外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管(5)及连通内管壁的内腔与反应管外的出气管(4)；在外管壁内焊接固定有两个偶管(3)，在该偶管的下端焊接有一个半圆柱管(6)，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设有一个用以安装热电偶的椭圆形开口(6.1)。