一种掩膜版显影液恒温方法及恒温装置

摘要：

本发明适用于显影液恒温技术领域，提供了一种掩膜版显影液恒温方法，设置一第一次热交换系统和一第二次热交换系统，所述第一次热交换系统通过热交换的方式将用于放置显影槽之水域槽中的循环水制冷，随后进入第二次热交换系统；所述第二次热交换系统将制冷后的循环水与置于所述显影槽中的显影液进行热交换，如此反复循环，使显影液稳定在所需的某一温度；还提供了一种上述恒温方法所采用的恒温装置，包括一第一次热交换系统和一第二次热交换系统。本发明所采用的掩膜版显影液恒温方法及恒温装置，解决了掩膜版显影液温度不稳定的问题，同时也解决了显影液中杂质过多造成掩膜版品质异常的问题，从而提高了掩膜版的精度和品质。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810217298.6

申请日期：2008-11-07

公开/公告号：CN101403868

公开/公告日：2009-04-08

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:清溢精密光电（深圳）有限公司

发明/设计人:王金木

主申请人地址:518057广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

专利代理机构:深圳中一专利商标事务所

代理人:张全文

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1、一种掩膜版显影液恒温方法，其特征在于：设置一第一次热交换系统和一第二次热交换系统，所述第一次热交换系统通过热交换的方式将用于放置显影槽之水域槽中的循环水制冷，随后进入第二次热交换系统；所述第二次热交换系统将制冷后的循环水与置于所述显影槽中的显影液进行热交换；如此反复循环，使显影液稳定在所需的某一温度。