一种用于掩膜版的定位确认装置及该装置的操作方法

摘要：

本发明适用于零件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置及该装置的操作方法，该装置包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。其中，所述测量工具为数字显示游标卡尺，所述的数字显示游标卡尺包括数字显示器和游标卡尺，所述数字显示器置于定位工具上，所述游标卡尺与定位工具活动连接。这种用于掩膜版的对位确认装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，为调整掩膜版的位置提供科学的依据，能大大降低由于掩模版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810217083.4

申请日期：2008-10-27

公开/公告号：CN101382744

公开/公告日：2009-03-11

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:清溢精密光电（深圳）有限公司

发明/设计人:郝明毅

主申请人地址:518057广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

专利代理机构:深圳中一专利商标事务所

代理人:张全文

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1、一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于:包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。