压电器件及其制造方法
本发明提供一种能够实现小型化的压电器件及其制造方法。本发明涉及的压电器件包括下侧基板和上侧基板、以及夹在它们之间的中间基板(10)，所述中间基板具有：压电振动部(11)；包围在所述压电振动部周围的框架部(12)；连接所述压电振动部和所述框架部的连接部(15a、b)；设于所述压电振动部上表面的第1激励电极(13)；设于所述压电振动部下表面的第2激励电极(14)；与所述第1激励电极电连接的第1布线(23)；以及与所述第2激励电极电连接的第2布线(33)，连接所述框架部的上表面和下表面的内侧面具有与所述框架部的上表面或下表面形成的内角大于90度的倾斜面(17a、b)，所述第1布线或第2布线设于所述倾斜面的表面上。
发明专利
CN200810215355.7
2008-09-05
CN101383599
2009-03-11
H03H9/02(2006.01)I
爱普生拓优科梦株式会社
土户健次;黑田贵大
日本东京都日野市日野421-8
北京三友知识产权代理有限公司
黄纶伟
日本;JP
1. 一种压电器件，包括下侧基板和上侧基板、以及夹在它们之间的中间基板，其特征在于，所述中间基板具有：压电振动部；包围在所述压电振动部周围的框架部；连接所述压电振动部和所述框架部的连接部；设于所述压电振动部上表面的第1激励电极；设于所述压电振动部下表面的第2激励电极；与所述第1激励电极电连接的第1布线；以及与所述第2激励电极电连接的第2布线，连接所述框架部的上表面和下表面的内侧面具有与所述框架部的上表面或下表面形成的内角大于90度的倾斜面，所述第1布线或第2布线设于所述倾斜面的表面上。