光栅测试系统及方法

摘要：

本发明公开了一种光栅测试系统及方法，可以准确地测量出相位光栅和参考光栅的制造误差以及形式不同的参考光栅对对准精度的影响，包括：从照明模块发出的平行光束经过反射后垂直射入相位光栅；相位光栅的正负同级衍射光，分别经过两个对称的反射镜反射后再干涉，形成干涉条纹；探测干涉条纹的光强信号。本发明测量参考光栅的影响时还包括：将干涉条纹经过一个参考光栅形成透射光；探测透射光的光强信号。上述对称的反射镜可以是一个干涉棱镜的两个反射面。本发明用反射镜或干涉棱镜代替傅立叶透镜做测试，给出一种离轴对准系统用的相位光栅和参考光栅的测试方案，消除了傅立叶透镜引入误差的影响，而且干涉棱镜的装调更简单、稳定，且成本低。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810204953.4

申请日期：2008-12-30

公开/公告号：CN101464638

公开/公告日：2009-06-24

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:关 俊;徐荣伟;韦学志;宋海军

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种光栅测试系统，其特征在于，包括：照明模块，用于发出平行光束；第一反射镜，用于将所述平行光束反射后垂直射入相位光栅；所述相位光栅，用于将接收的光产生衍射光；第二反射镜和第三反射镜，相对所述相位光栅的法线对称放置，用于将所述相位光栅的正负同级衍射光进行反射，反射后的光干涉后形成干涉条纹，干涉条纹被探测器模块探测；所述探测器模块，用于探测接收到的光的光强信号。