一种对准光源装置

摘要：

本发明提出一种对准光源装置，包括至少两套波长不同的激光单元，所述激光单元包括激光器、光强调制器、相位调制器以及传输光纤，在光束的光路上放置一光束整形装置，所述光束整形装置包括第一、第二旋光片，第一、第二偏振分束器，第一、第二整形器件以及第一、第二反射镜。本发明缩小了激光光斑，提高了照射在对准标记上的激光光能利用率及对准信号强度，提高了对准信号信噪比，有利于提高对准精度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810204951.5

申请日期：2008-12-30

公开/公告号：CN101446775

公开/公告日：2009-06-03

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:王诗华;徐荣伟

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种对准光源装置，包括至少两套波长不同的激光单元，所述激光单元至少包括一激光器，其特征在于：在所述激光器发出的光束的光路上放置一光束整形装置，所述光束整形装置包括：第一旋光片和第二旋光片，分别位于所述光束整形装置的两端，光束经所述第一旋光片进入所述光束整形装置，经所述第二旋光片射出；第一偏振分束器和第二偏振分束器，沿光路方向设置于所述第一旋光片和所述第二旋光片之间；第一整形器件和第二整形器件，位于所述第一偏振分束器和所述第二偏振分束器之间。