分段形标记对准信号处理方法

摘要：

本发明提出一种分段形标记对准信号处理方法，通过对分段形标记的对准扫描形成的平顶波形进行卷积滤波处理，对光信息随扫描位置变化的非对称性波形进行非对称模型校正处理，以及对可能出现的旁瓣进行旁瓣滤波处理，减小逼近处理的误差，大幅提高对准精度和捕获精度，提高了分段形标记的对准扫描状态的适应性，进而提高了对准系统进行对准扫描的效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810203801.2

申请日期：2008-12-01

公开/公告号：CN101436005

公开/公告日：2009-05-20

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:张 勇;宋海军;李焕炀

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种分段形标记对准信号处理方法，其特征在于包括以下步骤：同步采集分段形对准标记的绝对位置数据以及光信息数据，并对所述绝对位置数据进行空间变换，对光信息数据进行过滤处理；利用上述处理过的位置数据和光信息数据，建立对称逼近模型和非对称逼近模型，分别求两个模型的模型参数；根据上述模型参数计算分段形标记成像的对准位置数据。