主动减振系统及其预见控制方法

摘要：

本发明提供一种主动减振系统，包括基座、主基板、减振单元及其控制系统，其特征在于至少3个减振单元，以相同的夹角围绕一个中心平均分布在一个圆周平面上，所述减振单元底端安装在基座上，顶端连接主基板，所述控制系统连接减振单元，接收来自减振单元的振动信号，并反馈控制信息。其中预见控制模块根据主基板上掩模台、工件台等运动部件的路径规划，得出各运动部件在未来一段时间内的位置信息，预见控制器综合各运动部件当前位置和未来一段时间内的位置信息，通过预见控制算法得出预见补偿控制信号，将预见补偿控制信号与减振反馈控制信号叠加，驱动主动减振系统。本发明具有功率小，发热量低，减振精度高等优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810200919.X

申请日期：2008-10-08

公开/公告号：CN101364052

公开/公告日：2009-02-11

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:杨辅强;袁志扬;严天宏;刘 赟;周宏权

主申请人地址:201203上海市张江张东路1525号

专利代理机构:上海智信专利代理有限公司

代理人:王 洁

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、 一种主动减振系统，包括基座、主基板、减振单元及其控制系统，其特征在于至少3个减振单元，以相同的夹角围绕一个中心平均分布在一个圆周平面上，所述减振单元底端安装在基座上，顶端连接主基板；所述控制系统连接减振单元，接收来自减振单元的振动信号，并反馈控制信息。