光学元件微调整装置

摘要：

本发明提供了一种光学元件微调整装置，包括：一保持光学元件的内镜筒，至少三组摩擦定位机构，一承载容纳上述内镜筒以及摩擦定位机构的外镜筒；光学元件径向安装于内镜筒内，轴线沿重力方向，所述三组摩擦定位机构均匀设置在内镜筒四周，一端与内镜筒固定连接，另一端与外镜筒连接且保持滑动约束；一组重力平衡簧片沿内镜筒周围均匀设置，簧片的片状面平行于内镜筒光学元件的径向，一端连接外镜筒的基座，另一端连接内镜筒。摩擦定位机构通过压电执行器，可沿光学元件轴线方向调整定位光学元件，具备高精度长行程的轴向三自由度调整能力。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810200918.5

申请日期：2008-10-08

公开/公告号：CN101369104

公开/公告日：2009-02-18

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:李 欣;袁志扬;王天明

主申请人地址:201203上海市张江张东路1525号

专利代理机构:上海智信专利代理有限公司

代理人:王 洁

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种光学元件微调整装置，包括一保持光学元件的内镜筒，至少三组摩擦定位机构，一承载容纳上述内镜筒以及摩擦定位机构的外镜筒；其特征在于光学元件的轴线沿重力方向，并径向安装于内镜筒内，所述三组摩擦定位机构均匀设置在内镜筒的外圈，一端与内镜筒固定连接，另一端与外镜筒连接且保持滑动约束。