声表面波装置及其制造方法

摘要：

本发明提供一种声表面波装置，所述装置能够在不需要任何特定的环境处理的情况下防止电极腐蚀。所述声表面波装置包括压电基板、在所述压电基板上形成的声表面波形成用电极、在所述压电基板上围绕所述声表面波形成用电极的框状层和在所述框状层上通过接合而形成的盖体，从而在所述盖体与所述声表面波形成用电极之间形成中空部。所述框状层和所述盖体包含感光性树脂，所述盖体包括贯通孔，并且所述贯通孔用不含卤素的热固性树脂密封。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810168586.7

申请日期：2008-10-10

公开/公告号：CN101409537

公开/公告日：2009-04-15

主分类号：H03H9/25(2006.01)I

申请/专利权人:富士通媒体部品株式会社

发明/设计人:相川俊一;郡池圣;木村丈儿

主申请人地址:日本神奈川县

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

代理人:丁香兰%谢 栒

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种声表面波装置，所述声表面波装置包括：压电基板；在所述压电基板上形成的声表面波形成用电极；在所述压电基板上围绕所述声表面波形成用电极的框状层；和在所述框状层上通过接合而形成的盖体，从而在所述盖体与所述声表面波形成用电极之间形成中空部，其中，所述框状层和所述盖体包含感光性树脂，并且所述盖体具有贯通孔，所述贯通孔用不含卤素的热固性树脂密封。