一种游星轮片蚀刻法生产工艺

摘要：

一种游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程。本发明的目的在于提供一种游星轮片蚀刻法生产工艺，采用精密蚀刻方式进行生产，本工艺生产的游星轮片加工精度高、产品边缘比较光滑，能提高游星轮片良品率，降低生产成本，由于本发明的游星轮片生产工艺适合于中小规模的生产，一致性较好，因而细小零件的传统的冲裁加工方法可以用本发明的游星轮片蚀刻法生产工艺所替代。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810151016.7

申请日期：2008-09-17

公开/公告号：CN101377619

公开/公告日：2009-03-04

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:彩虹集团电子股份有限公司

发明/设计人:郑建博;王 新

主申请人地址:712021陕西省咸阳市彩虹路1号

专利代理机构:西安通大专利代理有限责任公司

代理人:徐文权

国别省市代码:陕西;61

权利要求：

1、一种游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、感光材料涂敷、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程，其特征在于：(1)、设计：制图，计算预留制版腐蚀余量；(2)、制版：制作菲林胶片版，在显微镜下对胶片版进行粘贴对位；(3)、上料：用剪板机将卷材切成板材；(4)、清洗：对切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；(5)、感光材料涂敷：对清洗烘干后的板材进行丝网涂墨，烘干；(6)、曝光：将已烘干的油墨板材进行双面曝光，将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上；(7)、显影：将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；(8)、固化：显影后的单板用烘箱进行固化；(9)、蚀刻：采用蚀刻机喷淋蚀刻；(10)、剥膜：将经过蚀刻的单板放入NaOH溶液进行剥膜处理；(11)、清洗烘干：单板在剥膜处理后，烘道内烘干处理。