光罩验证系统及程序

摘要：

本发明提供一种光罩验证系统及程序，可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光结果，其中，CPU(7)参照存储部(8)的数据文件存储部(5)中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的显示面板上的面板布局要素，通过判断上述显示面板上的多个面板布局要素的位置关系，验证上述曝光要素是否错误，显示部(1)在面板基板窗口(9)或光罩窗口(10)内显示上述验证结果。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810144564.7

申请日期：2008-08-22

公开/公告号：CN101382736

公开/公告日：2009-03-11

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社绩达特

发明/设计人:千田英树

主申请人地址:日本国东京都

专利代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人:谢丽娜%关兆辉

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1. 一种光罩验证系统，其特征在于，具有：存储单元，存储：平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据；以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素；验证单元，根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素；以及显示单元，显示上述验证单元验证的结果。