光罩修补方法

摘要：

本发明公开一种光罩修补方法，该方法包括以下步骤：采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。本发明避免了导管和修补液的浪费，并且可以准确地控制修补精度与厚度，大大缩短了修补时间。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810141922.9

申请日期：2008-08-15

公开/公告号：CN101344718

公开/公告日：2009-01-14

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:深圳市路维电子有限公司

发明/设计人:杜武兵;瞿照地

主申请人地址:518000广东省深圳市南山区高新区北区科苑大道西华瀚创新园D座1楼

专利代理机构:深圳市维邦知识产权事务所

代理人:黄 莉

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1、一种光罩修补方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。