反力处理装置

摘要：

一种反力处理装置，抑制反力处理装置的大型化。反力处理装置为，设置在载物台装置上，处理由于载物台的移动而对定盘产生的反力，该载物台装置具备：具有高度互不相同的多个盘面且隔着减振弹簧设置在基座上的定盘；和分别配设在盘面上并在该盘面上移动的载物台。并且，反力处理装置具备：对定盘施加平衡推力的第1和第2反力处理促动器；和控制推力大小的控制部。在该反力处理装置中，定盘上的平衡推力的作用点高度互不相同，控制部控制平衡推力以使反力作为合力和合力矩而抵消。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810131151.5

申请日期：2008-07-30

公开/公告号：CN101359184

公开/公告日：2009-02-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:住友重机械工业株式会社

发明/设计人:细畠拓也

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:永新专利商标代理有限公司

代理人:陈 萍

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种反力处理装置，设置在载物台装置上，用于对由于上述载物台的移动而对定盘产生的多个反力进行处理；上述载物台装置具备：上述定盘，具有高度互不相同的多个盘面，并且隔着减振部设置在基座上；和多个载物台，分别配设在上述盘面上并在该盘面上移动；该反力处理装置的特征在于，具备：第1和第2施加装置，对上述定盘分别施加第1和第2力，该第1和第2力用于对上述多个反力进行协作处理；以及控制装置，控制上述第1和第2力的大小；上述定盘上的上述第1和第2力的作用点高度互不相同，上述控制装置控制上述第1和第2力，以使上述多个反力作为合力以及合力矩而抵消。