光掩模储放装置

摘要：

本发明是有关于一种光掩模储放装置，包括有底座和上盖。此光掩模储放装置包括有聚醚醚酮材料。一锁扣组件用以耦接底座和上盖。光掩模固定组件设置于上盖上，而光掩模支撑组件则设置于底座上，用以避免光掩模震动。此光掩模储放装置设计有通气孔结构使气体以360度的方式被喷入由底座与上盖所构成的光掩模置放空间。在通气孔结构中另有额外设计的粒子过滤器来防止微粒进入光掩模盒内，一密封衬垫设计于底座底板以提升底座与上盖密合时的气密性。本发明所提出的光掩模储放装置，藉以在运送、储放过程中能更有效的保护例如光掩模、基材或晶圆等对象。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810130539.3

申请日期：2008-07-07

公开/公告号：CN101546115

公开/公告日：2009-09-30

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

发明/设计人:陈信元;李智富;许继中;李星甫

主申请人地址:中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

专利代理机构:北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人:寿 宁%张华辉

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1. 一种光掩模储放装置，其特征在于其至少包括：一上盖组件和一底座组件，具有聚醚醚酮材料；至少一光掩模固定组件，耦接于该上盖组件；至少一通气孔结构，形成于该底座组件中，其中至少一通气孔结构用以允许一气体来通过，并以360度的方向来进入该光掩模储放装置的内部空间；以及一密封衬垫，设置于该底座组件上。