反力处理装置

摘要：

一种反力处理装置，能够在提高移动载物台装置的载物台稳定性的同时，抑制移动载物台装置的大型化。该反力处理装置处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的载物台在经由除振弹簧设置于底板上的定盘上移动。并具有反力处理促动器，用于将降低反力的力即反推力施加到定盘上。而且，该反力处理促动器以被定盘覆盖的方式设置在相比该定盘的上表面偏下方的位置。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810129497.1

申请日期：2008-07-31

公开/公告号：CN101359183

公开/公告日：2009-02-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:住友重机械工业株式会社

发明/设计人:细畠拓也;日置一弥

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:永新专利商标代理有限公司

代理人:徐殿军

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1、一种反力处理装置，用于处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的上述载物台在经由除振部被设置于基座上的上述定盘上移动，其特征在于：具有用于将降低上述反力的力施加到上述定盘上的施加装置，上述施加装置以被上述定盘覆盖的方式被设置在相比该定盘的盘面偏上述基座侧的位置上。