具有稳压作用的收纳柜体

摘要：

本发明是有关于一种具有稳压作用的收纳柜体，特别是指一种防止光掩膜盒内部在排气过程中形成负压的收纳柜体，其是由一框体所构成，该框体上设有至少一进气回路与一排气回路，且框体内设有一个或多数承置单元，各承置单元具有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，而光掩膜盒则具有对应前述承置单元进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件气流通道可跨设于对应气阀气流通道孔的内、外，使稳压阀件可同步吸排光掩膜盒内部空间与外部环境的气体，让收纳柜体可通过稳压阀件作用，避免光掩膜盒内部空间因排气量大于进气量而产生负压，而可便于光掩膜盒开启，且不致产生强力的瞬间气流，可以避免气流伤及光掩膜盒内部光掩膜的表面。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810125201.9

申请日期：2008-06-16

公开/公告号：CN101609259

公开/公告日：2009-12-23

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:亿尚精密工业股份有限公司

发明/设计人:陈俐殷;卢诗文;黄柏凯

主申请人地址:中国台湾高雄县

专利代理机构:北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人:寿 宁%张华辉

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1、一种具有稳压作用的收纳柜体，其内部可供摆置一个或多数个供储存光掩膜的光掩膜盒，且光掩膜盒具有复数供进、排气的气阀，其特征在于： 该收纳柜体是由一框架所构成，该框架具有至少一进气回路与至少一排气回路； 该收纳柜体具有至少一供放置光掩膜盒的承置单元，该承置单元上设有至少一连接进气回路的进气阀件与至少一连接排气回路的稳压阀件，其中该稳压阀件具有一个或多数的流道孔，该稳压阀件的流道孔是跨设于光掩膜盒气阀的内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒容置空间与外部环境的气体。