光刻胶用量检测方法和系统、数据分类采集系统

摘要：

一种光刻胶用量的检测方法，包括：采集生产线上光刻胶喷洒的当前信息；根据所述当前信息判断当前喷洒的特征；获取与该当前喷洒相同特征的历史信息；将所述当前信息中的喷洒容量值与历史信息中的喷洒容量值进行求和计算，获得新的喷洒容量值；其中，所述当前信息与历史信息均至少包括：光刻胶名称、喷洒容量值和喷洒时间。本发明还提供一种光刻胶用量的检测系统以及一种数据信息的分类采集系统。能够分类获取光刻胶用量的实际用量值，便于检测生产线上光刻胶的实际使用量。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810105622.5

申请日期：2008-04-30

公开/公告号：CN101571673

公开/公告日：2009-11-04

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

发明/设计人:杨光宇

主申请人地址:100176北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司

代理人:李 丽

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种光刻胶用量的检测方法，其特征在于，包括：采集生产线上光刻胶喷洒的当前信息；根据所述当前信息判断当前喷洒的特征；获取与该当前喷洒相同特征的历史信息；将所述当前信息中的喷洒容量值与历史信息中的喷洒容量值进行求和计算，获得新的喷洒容量值；其中，所述当前信息与历史信息均至少包括：光刻胶名称、喷洒容量值和喷洒时间。