光源极化功率比的反馈控制系统及反馈控制方法

摘要：

本发明提供一种光源极化功率比的反馈控制系统及其反馈控制方法，其利用在光掩模基板上设置一标记，并使用一侦测器侦测光源通过该光掩模上的标记后所产生的折射光或反射光的能量，再将测得的能量值输入一处理器中运算，接着处理器将运算结果反馈至一极化转换器，用于达到调控光源的极化功率比的目的。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810088421.9

申请日期：2008-03-26

公开/公告号：CN101546113

公开/公告日：2009-09-30

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:南亚科技股份有限公司

发明/设计人:林佳蔚;黄登烟;廖俊诚

主申请人地址:中国台湾桃园县

专利代理机构:北京市柳沈律师事务所

代理人:陈小雯

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1. 一种光源的极化功率比的反馈控制方法，其特征在于：提供一个光掩模，其上包含一标记；以一入射光照射该标记，其中该入射光是以一大于0的入射角度进入该标记；侦测由该入射光通过该标记的一反射光或一折射光以获得一参数；以及将该参数经过计算后反馈(feed back)至一极化转换器以调整该入射光的极化功率比。