光罩追踪监控系统及方法
本发明一种光罩追踪监控系统及方法，本发明系统是用于一光罩处理系统。该光罩处理系统可包括光罩盒以及光罩处理机台。本发明所提供的光罩追踪监控系统包括一主控终端、至少一无线射频(RFID)信号识别卷标设于上述的光罩盒、至少一无线射频(RFID)信号读取装置设于上述的机台；该主控终端储存一切光罩于处理过程的纪录。本发明另提供一种光罩追踪监控方法。
发明专利
CN200810087058.9
2008-04-11
CN101556436
2009-10-14
G03F7/20(2006.01)I
家登精密工业股份有限公司
赖东焕;谢刚宁
台湾省台北县
中科专利商标代理有限责任公司
周国城
台湾;71
1、一种光罩追踪监控系统，用于一光罩处理系统，其中该光罩处理系统包含至少一光罩传送盒用以传送至少一光罩、一光罩保存盒用以保存该光罩及至少一机台用以处理该光罩，其特征在于，该光罩追踪监控系统包含有： 至少一个RFID信号识别卷标，设于该光罩传送盒以及该光罩保存盒其中之一，该信号识别卷标以无线射频的方式传送一第一信号，此信号识别卷标为可拆取式，当光罩在光罩传送盒与光罩保存盒之间移转时，该信号识别卷标可取下随光罩移动而转移到不同的光罩盒； 至少一个RFID信号读取装置，设于该机台，其中该机台处理该光罩前、中或后，该信号读取装置是用以接收该第一信号，并发送一第二信号；以及 一主控终端，接收该第二信号，该主控终端包含一纪录设备，该纪录设备用以储存该光罩处理的数据。