可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的可辐射固化显影的光阻组成物
一种可辐射固化显影的聚胺酯，其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由所述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成，其中：R<sup>1</sup>为C<sub>1-12</sub>直链或分支亚烷基、C<sub>3-8</sub>环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基(其中A为CH<sub>2</sub>、-NH-或-O-)，该等基又可视情况经C<sub>1-6</sub>烷基取代；R<sup>2</sup>为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R<sup>3</sup>为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C<sub>1-6</sub>烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R<sup>4</sup>为H或CH<sub>3</sub>；且T选自上列所组成组群之一或多个取代基，该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量(Mw)为3,000～400,000；酸值为5～120mgKOH/g。本发明亦有关一种含此聚胺酯的可辐射固化显影的光阻组成物。
发明专利
CN200810080974.X
2008-02-28
CN101520602
2009-09-02
G03F7/004(2006.01)I
新力美科技股份有限公司
黄伟翔;陈膺仁;张瑞铭;郭俊宏;林弘晔;张立中
中国台湾台北市内湖区瑞光路496号8楼
长沙正奇专利事务所有限责任公司
何 为
台湾;71
1、一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：其中：R1为C1-12直链或分支亚烷基、C3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH2、-NH-或-O-，该等基又可视情况经C1-6烷基取代；R2为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；且R3为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C1-6烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R4代表H或CH3；且T选自下列所组成组群的一个或多个取代基：—C＝C—及该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量为3,000～400,000；且酸值为5～120mg KOH/g。