制造液晶显示面板用掩模板

摘要：

本发明涉及一种制造液晶显示面板用的掩模板，其包括多个单元产品掩模图形，并且所述单元产品掩模图形包括开孔，以及所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。本发明的掩模板可以在不改变现有的工艺和流程的基础上，有效改善现有工艺中的孔层结构之中的层间跨断问题，从而极大地提高了生产良率，降低了生产成本，提高了生产效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810043278.1

申请日期：2008-04-22

公开/公告号：CN101566790

公开/公告日：2009-10-28

主分类号：G03F1/14(2006.01)I

申请/专利权人:上海天马微电子有限公司

发明/设计人:汪梅林

主申请人地址:201201上海市浦东新区汇庆路889号5层

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种掩模板，包括多个单元产品掩模图形，用于液晶显示面板制造的光刻工艺，其中所述单元产品掩模图形包括开孔，并且所述开孔的孔边缘形成多个非规则直线图形。