二自由度电机执行机构及相应的六自由度微动台

摘要：

本发明公开了一种二自由度电机执行机构及相应的六自由度微动台，该二自由度电机执行机构，包括基座，音圈电机，两个水平直线电机，以及水平运动导轨；所述音圈电机和所述每个水平直线电机均具有定子和动子；所述基座与音圈电机定子固定连接，所述音圈电机动子通过气浮解耦单元与所述水平运动导轨连接，所述两个水平直线电机关于该二自由度电机执行机构的中心轴呈对称布局，且两个水平直线电机的定子均与基座固定连接，两个水平直线电机的动子与所述水平运动导轨固定连接。所述六自由度微动台，包括三个120°均布安装于底座上的二自由度电机执行机构。本发明使用集成的二自由度电机执行机构进行微动台的六自由度调节，其调节精度高，集成性、控制性能好，结构紧凑。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810041494.2

申请日期：2008-08-07

公开/公告号：CN101349870

公开/公告日：2009-01-21

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:齐宁宁;齐芊枫;李志龙

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种二自由度电机执行机构，其特征在于，包括：基座，音圈电机，两个水平直线电机，以及水平运动导轨；所述音圈电机和所述每个水平直线电机均具有定子和动子；所述基座与音圈电机定子固定连接，所述音圈电机动子通过气浮解耦单元与所述水平运动导轨连接，所述两个水平直线电机关于该二自由度电机执行机构的中心轴呈对称布局，且两个水平直线电机的定子均与基座固定连接，两个水平直线电机的动子与所述水平运动导轨固定连接。