一种纳米结构的软模板制作方法

摘要：

本发明是关于一种软压印模板的制造方法。其特征在于：通过多孔阳极氧化铝(AAO)模板复制出软模板。多孔阳极氧化铝孔径一般为10～500nm，孔洞较直分布均匀，作为母模板可以复制出高分辨率和高复型精度的软模板，减少了模板的制作成本和周期。本发明的显著特点是制作模板成本低廉，周期短，工艺简单，复制出来的软模板可以重复使用，能够实现大面积压印。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810037349.7

申请日期：2008-05-13

公开/公告号：CN101581878

公开/公告日：2009-11-18

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海市纳米科技与产业发展促进中心%中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明/设计人:周伟民;张 静;刘彦伯;李小丽;钮晓鸣;宋志棠;闵国全;万永中;施利毅;封松林

主申请人地址:200237上海市徐汇区嘉川路245号3号楼三楼

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种纳米结构的模板制作方法，其特征在于：采用多孔阳极氧化铝(AAO)作为母模板，通过聚合物固化后复制出软模板。