包含酚醛清漆树脂共混物的光刻胶

摘要：

提供了一种光刻胶组合物，其包含辐射敏感性组分和至少两种不同的酚醛清漆树脂。一方面，本发明的光刻胶显示出特别高的溶解速度，诸如在水性显影液中的溶解速度超过每秒钟800埃。另一方面，本发明的光刻胶可表现出很好的感光度，诸如100mJ/cm²或更小。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200810005008.1

申请日期：2008-01-28

公开/公告号：CN101424877

公开/公告日：2009-05-06

主分类号：G03F7/016(2006.01)I

申请/专利权人:罗门哈斯电子材料有限公司

发明/设计人:J·M·卡尔弗特;J·F·拉绍斯基

主申请人地址:美国马萨诸塞州

专利代理机构:上海专利商标事务所有限公司

代理人:郭 辉

国别省市代码:美国;US

权利要求：

1. 一种光刻胶组合物，其包含：(i)包含重氮萘醌材料的辐射敏感性组分；以及(ii)至少两种不同的酚醛清漆树脂，其中所述光刻胶在碱性水性显影剂中的溶解速度为800埃/秒或更大。