具有光瞳镜的反射折射投影物镜、投影曝光设备和方法

摘要：

一种用于将来自布置在投影物镜(100)的物体表面(05)中的物场(07)的图案成像到布置在投影物镜的图像表面(IS)中的像场(IF)上的反射折射投影物镜(100)具有：第一物镜部分(LG1)，该第一物镜部分(LG1)配置成将来自物体表面的图案成像到第一中间图像(IMI1)中并且具有第一光瞳表面(P1)；第二物镜部分(HG)，该第二物镜部分(HG)配置成将第一中间图像(IMI1)成像到第二中间图像(IMI2)中并且具有与第一光瞳表面(P1)在光学上共轭的第二光瞳表面(P2)；以及第三物镜部分(LG2，LG3，LG4)，该第三物镜部分(LG2，LG3，LG4)配置成将第二中间图像(IMI2)成像到图像表面(IS)中并且具有与第一和第二光瞳表面在光学上共轭的第三光瞳表面(P3)。光瞳镜(113)具有定位于第一、第二和第三光瞳表面之一处或者在第一、第二和第三光瞳表面之一附近的反射光瞳镜表面。以操作方式连接到光瞳镜(113)并且配置成改变光瞳镜的反射表面形状的光瞳镜操纵器允许动态地校正源自透镜加热、压实的成像像差以及在投影物镜的操作过程中出现的其它辐射诱发成像像差。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200780038336.5

申请日期：2007-08-10

公开/公告号：CN101523294

公开/公告日：2009-09-02

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:卡尔蔡司SMT股份公司

发明/设计人:A·埃普尔

主申请人地址:德国上科亨

专利代理机构:北京市柳沈律师事务所

代理人:邱 军

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

1. 一种反射折射投影物镜，用于将来自布置在投影物镜的物体表面中的物场的图案成像到布置在投影物镜的图像表面中的像场上，所述反射折射投影物镜包括：第一物镜部分，该第一物镜部分配置成将来自所述物体表面的图案成像到第一中间图像中并且具有第一光瞳表面；第二物镜部分，该第二物镜部分配置成将所述第一中间图像成像到第二中间图像中并且具有与所述第一光瞳表面在光学上共轭的第二光瞳表面；第三物镜部分，该第三物镜部分配置成将所述第二中间图像成像到所述图像表面中并且具有与第一和第二光瞳表面在光学上共轭的第三光瞳表面；光瞳镜，该光瞳镜具有定位于第一、第二和第三光瞳表面之一处或者在第一、第二和第三光瞳表面之一附近的反射光瞳镜表面；以及光瞳镜操纵器，该光瞳镜操纵器以操作方式连接到所述光瞳镜并且配置成改变光瞳镜表面的形状。