功能材料在基材上形成图案的方法

摘要：

本发明提供一种在基材上形成功能材料的图案的方法。该方法使用具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模，该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕。将功能材料和液体的液体组合物施用在浮雕结构上，除去液体在凸起表面上形成膜。弹性压模将功能材料从凸起表面转移至基材，在基材上形成功能材料的图案。该方法适合于制造用于电子器件和元件的微电路。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200780035972.2

申请日期：2007-09-07

公开/公告号：CN101517484

公开/公告日：2009-08-26

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:E.I.内穆尔杜邦公司

发明/设计人:G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯

主申请人地址:美国特拉华州

专利代理机构:上海专利商标事务所有限公司

代理人:朱黎明

国别省市代码:美国;US

权利要求：

1.一种在基材上形成功能材料的图案的方法，该方法包括：a)提供具有带凸起表面的浮雕结构的弹性压模，该弹性压模的弹性模量至少为10兆帕；b)将包含功能材料和液体的组合物施用在浮雕结构上；c)从浮雕结构上的组合物充分除去液体，以至少在凸起表面形成功能材料的薄膜；和d)将功能材料从凸起表面转移至基材。