含有具有环结构的高分子化合物的正型感光性树脂组合物

摘要：

本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物，其具有很高的灵敏度且未曝光部的膜厚减少小，在膜形成后、即使经过高温烘烤或抗蚀剂剥离液处理也能够维持高的透射率和膜厚，并且在ITO溅射时不产生裂纹，还适合各种显示器的膜材料的固化膜。本发明通过提供下述正型感光性树脂组合物和使用该组合物获得的固化膜而解决了上述课题，所述正型感光性树脂组合物，含有：(A)成分：碱溶性丙烯酸聚合物，其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种，并且，其数均分子量为2000～30000；(B)成分：在主链中具有环结构的碱溶性树脂；(C)成分：具有乙烯基醚基的化合物；(D)成分：具有封端异氰酸酯基的化合物；(E)成分：光酸发生剂；(F)溶剂。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200780021536.X

申请日期：2007-06-13

公开/公告号：CN101467100

公开/公告日：2009-06-24

主分类号：G03F7/039(2006.01)I

申请/专利权人:日产化学工业株式会社

发明/设计人:畑中真;小林淳平

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京市中咨律师事务所

代理人:段承恩%田 欣

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1. 一种正型感光性树脂组合物，含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)溶剂，(A)成分：碱溶性丙烯酸聚合物，其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种，并且，其数均分子量为2000～30000；(B)成分：在主链中具有芳香族环或脂环结构的碱溶性树脂；(C)成分：1分子中具有两个以上的乙烯基醚基的化合物；(D)成分：1分子中具有两个以上的封端异氰酸酯基的化合物；(E)成分：光酸发生剂；(F)溶剂。