压电振动片的制造方法

摘要：

本发明提供一种压电振动片的制造方法，该压电振动片的表面的变质层少、具有与所设计的振动特性的差异小的振动特性。在去除金属掩模(30)后，进行湿法蚀刻，分离形成音叉型石英振动片(10)，因此，可以暴露由于干法蚀刻而生成的变质层(23)，通过湿法蚀刻去除变质层(23)。由此，可以得到具有与所设计的振动特性的差异小的振动特性的音叉型石英振动片(10)的制造方法。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200780010272.8

申请日期：2007-03-20

公开/公告号：CN101405937

公开/公告日：2009-04-08

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:爱普生拓优科梦株式会社

发明/设计人:伯耆原秋;山本佐知

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

代理人:黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种压电振动片的制造方法，其利用由压电材料构成的基板来形成压电振动片，其特征在于，该压电振动片的制造方法包括以下工序：掩模形成工序，在所述基板上形成干法蚀刻掩模；干法蚀刻工序，在所述掩模形成工序后，通过干法蚀刻，保留所述基板的蚀刻加工部的一部分地进行蚀刻；掩模去除工序，在所述干法蚀刻工序后，去除所述干法蚀刻掩模；以及湿法蚀刻工序，在所述掩模去除工序后，通过湿法蚀刻去除所述蚀刻加工部的一部分，从所述基板分离形成所述压电振动片。