声表面波谐振器及使用该声表面波谐振器的声表面波滤波器以及天线共用器

摘要：

本发明提供一种因改善声表面波的横向泄漏，而寄生小且特性优良的声表面波谐振器。本发明的声表面波滤波器在压电衬底上形成有梳状电极与反射器电极，且在梳状电极与反射器电极上形成有SiO₂薄膜。梳状电极包含汇流条电极区域、虚设电极区域及交叉区域，而且梳状电极的汇流条电极区域上部成为SiO₂薄膜被除去的状态。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200780004607.5

申请日期：2007-12-14

公开/公告号：CN101379699

公开/公告日：2009-03-04

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:松下电器产业株式会社

发明/设计人:中村弘幸;中西秀和;岩崎行绪;松波贤;鹤成哲也

主申请人地址:日本大阪府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:汪惠民

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1、一种声表面波谐振器，其具备由铌酸锂构成的衬底、设置在所述衬底的上表面的梳状电极、及覆盖所述梳状电极的电介质薄膜，其中：所述梳状电极包含汇流条电极区域、虚设电极区域及交叉区域，在所述汇流条电极区域及所述虚设电极区域中的至少一个区域的上部，所述电介质薄膜的厚度小于所述交叉区域上部的所述电介质薄膜的厚度，或者为零。