挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统
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挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统

引用
本实用新型是一种挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统,包括:一入流废气预先加热单元、捕集网与重力沉降集尘处理单元与多管旋风集尘处理单元。其中,将制程机台所排放的VOCs废气,以制程机台风管衔接单元输入废气预先加热单元,将废气预先加热,使得废气中的有机物质形成胶状型态与无机物质(硅化合物)氧化为二氧化硅固体型态,经捕集网与重力沉降集尘处理单元截除胶状物质与大颗粒固体物质,再经多管旋风集尘处理单元截除较小颗粒固体物质,并经排放风管衔接单元排放至后段VOCs再生燃烧处理系统(RTO)进行VOCs处理,以达到保护RTO内部蜂巢式蓄热燃烧处理系统的目的。

实用新型

CN200720182211.7

2007-10-17

CN201163031

2008-12-10

F23G7/06(2006.01)I

李汉中%杨文忠%李子垣

李汉中;杨文忠;李子垣

台湾省台北县

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司

孙皓晨

台湾;71

1、一种挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统,其特征在于:包括: 一入流废气预先加热处理单元,其输入端通过风管连结制程机台风管衔接单 元; 一捕集网与重力沉降集尘处理单元,其输入端通过风管与所述的入流废气预 先加热处理单元的输出连结; 一多管旋风集尘处理单元,其输入端通过风管与所述的捕集网与重力沉降集 尘处理单元的输出端连结,而输出端与排放风管衔接单元连结。
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2012-12-19专利权的终止
2008-12-10授权
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