挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统
本实用新型是一种挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统,包括:一入流废气预先加热单元、捕集网与重力沉降集尘处理单元与多管旋风集尘处理单元。其中,将制程机台所排放的VOCs废气,以制程机台风管衔接单元输入废气预先加热单元,将废气预先加热,使得废气中的有机物质形成胶状型态与无机物质(硅化合物)氧化为二氧化硅固体型态,经捕集网与重力沉降集尘处理单元截除胶状物质与大颗粒固体物质,再经多管旋风集尘处理单元截除较小颗粒固体物质,并经排放风管衔接单元排放至后段VOCs再生燃烧处理系统(RTO)进行VOCs处理,以达到保护RTO内部蜂巢式蓄热燃烧处理系统的目的。
实用新型
CN200720182211.7
2007-10-17
CN201163031
2008-12-10
F23G7/06(2006.01)I
李汉中%杨文忠%李子垣
李汉中;杨文忠;李子垣
台湾省台北县
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
孙皓晨
台湾;71
1、一种挥发性有机气体蓄热燃烧处理系统,其特征在于:包括: 一入流废气预先加热处理单元,其输入端通过风管连结制程机台风管衔接单 元; 一捕集网与重力沉降集尘处理单元,其输入端通过风管与所述的入流废气预 先加热处理单元的输出连结; 一多管旋风集尘处理单元,其输入端通过风管与所述的捕集网与重力沉降集 尘处理单元的输出端连结,而输出端与排放风管衔接单元连结。