以擦拭清洗光罩的方法及设备

摘要：

本发明是关于一种以擦拭清洗光罩的方法及设备，特别是指一种可有效去陈光罩表面微粒子与雾化污渍的清洁方法与设备，该设备至少包含有一输送装置、一侧边擦拭装置及一顶面擦拭装置，以利用输送装置载送光罩依序经由侧边擦拭装置与顶面擦拭装置，而利用含浸有清洗液的擦拭件直接接触擦拭该光罩之上、下边缘表面与顶部表面，借此可有效、且迅速的去除光罩护膜外表面的微粒子与雾化污渍等，以缩短光罩清洗及再运用时间，同时不致污染光罩护膜或留下清洗水痕，并大幅提升光罩清洗后的洁净度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200710143554.7

申请日期：2007-08-09

公开/公告号：CN101364041

公开/公告日：2009-02-11

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:廖莉雯

发明/设计人:廖莉雯

主申请人地址:中国台湾台北县

专利代理机构:北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人:寿宁%张华辉

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1.一种以擦拭清洗光罩的设备，尤指以擦拭手段去除光罩顶部表面与 两侧上、下边缘表面的微粒或雾化污渍的设备，其特征在于其包括： 一或多数个侧边擦拭装置，其设于对应光罩一侧，侧边擦拭装置具有 一面向光罩侧边的擦拭布，擦拭布可含浸清洗液、且呈不滴水的湿润状， 该侧边擦拭装置可利用擦拭布同步擦拭清洗光罩侧边的上、下边缘表面； 一或多数个顶面擦拭装置，其设于光罩上方，顶面擦拭装置具有一面 向光罩顶部表面的擦拭布，擦拭布可含浸清洗液、且不滴水的湿润状擦拭 布，该顶面擦拭装置可利用擦拭布擦拭清洗光罩顶部表面。