半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正方法

摘要：

本发明公开了一种半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正方法，通过对产品实际线宽测量过程中，对待测图形在自动对焦时在不同焦距的图形进行图形质量分析来确定电子光学系统中的像差，并且根据该像差偏差的严重性做出是否进行测量结果修正，自动像差调整，或者人工像差调整。本发明在不影响生产的同时，对光学系统的较小偏差进行测量值修正以及自动校准，对光学系统的较大偏差报警，以提高生产效率及产品的测量精度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200710094080.1

申请日期：2007-09-11

公开/公告号：CN101387832

公开/公告日：2009-03-18

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海华虹NEC电子有限公司

发明/设计人:沈 璐;郭利花;伍 强

主申请人地址:201206上海市浦东新区川桥路1188号

专利代理机构:上海浦一知识产权代理有限公司

代理人:顾继光

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正方法，其特征在于，通过对产品实际线宽测量过程中，对待测图形在自动对焦时在不同焦距的图形进行图形质量分析来确定电子光学系统中的像差，并且根据该像差偏差的严重性做出是否进行测量结果修正，自动像差调整，或者人工像差调整。