一种可提高成品率的光罩

摘要：

本发明提供了一种可提高成品率的光罩。现有技术中光罩上的散射条纹仅具条状本体，故在制造时非常困难且会影响光罩的成品率。本发明的可提高成品率的光罩具有至少一孤立器件图形和多个设置在该孤立器件图形周围用于增大其工艺窗口的散射条纹，该散射条纹具有一条状本体，该条状本体两侧边上设置有多个支脚。采用本发明可提高成品率的光罩可降低光罩制造的工艺难度，并可大大提高其成品率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200710046838.4

申请日期：2007-10-09

公开/公告号：CN101408723

公开/公告日：2009-04-15

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

发明/设计人:刘庆炜

主申请人地址:201203上海市张江路18号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种可提高成品率的光罩，其上具有至少一孤立器件图形和多个设置在该孤立器件图形周围且用于增大其工艺窗口的散射条纹，该散射条纹具有一条状本体，其特征在于，该条状本体两侧边上设置有多个支脚。