一种光刻胶清洗剂
本发明公开了一种光刻胶清洗剂,其含有:氢氧化钾、二甲基亚砜、季戊四醇和醇胺。本发明的光刻胶清洗剂可有效除去金属、金属合金或电介质基材上的光刻胶(光阻)和其它残留物,同时对于Cu(铜)等金属具有较低的蚀刻速率,在半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。
发明专利
CN200710044790.3
2007-08-10
CN101364056
2009-02-11
G03F7/42(2006.01)I
安集微电子(上海)有限公司
刘 兵;彭洪修;史永涛;曾 浩
201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
上海翰鸿律师事务所
李佳铭
上海;31
1.一种光刻胶清洗剂,其特征在于含有:氢氧化钾、二甲基亚砜、季戊四醇和醇胺。