一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置

摘要：

本实用新型涉及一种六自由度精密调节装置，具体公开了一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置，包括支架、托架和六自由度调节机构，所述六自由度调节机构通过托架与支架固定连接，还包括转出机构；转出机构固定在支架上，其与六自由度调节机构的调节盘转轴连接。本实用新型可以手动转出、并且带有位置“记忆”功能、可以实现对六自由度的独立调节。在实际使用中只需提供相应接口和空间就可安装。相对于其它的调节装置，其调节过程简单准确、快速高效，具有良好的检修性，维护方便。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200620041223.3

申请日期：2006-04-20

公开/公告号：CN2884264

公开/公告日：2007-03-28

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:唐海明;朱岳彬;严天宏

主申请人地址:200092上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海智信专利代理有限公司

代理人:王 洁

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置，包括支架(1)、托架(3)和六自由度调节机构，所述六自由度调节机构通过托架(3)与支架(1)固定连接，其特征在于，还包括转出机构；所述六自由度调节机构包括：与托架连接的大螺钉(2)、3根顶针(4)和设置在托架下方的上法兰圈(5)、下法兰(6)、XY向调节座(7)、调节板(20)、调节盘(24)；上法兰圈(5)固定设置在下法兰(6)上，其上表面设有v型槽、所述顶针的头部嵌入v型槽内；所述大螺钉(2)的下端拧紧在下法兰上；下法兰(6)固定设置在XY向调节座(7)上；XY向调节座(7)可调节的固定设置在调节板(20)上；调节板(20)可调节的固定设置的调节盘(24)上；所述转出机构固定在支架(1)上，其与六自由度调节机构的调节盘(24)转轴连接。