1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅

摘要：

一种用于光纤通信的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期为692-710纳米、刻蚀深度为1.985-2.005微米，光栅的占空比为1/2。该光栅可以将TE、TM两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方向，实现0级和1级衍射光消光比均大于100，TE偏振光的0级衍射效率和TM偏振光的1级衍射效率分别高于99.02％和99.27％。本发明光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，可以低成本地大批量生产。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200610023420.7

申请日期：2006-01-18

公开/公告号：CN1800883

公开/公告日：2006-07-12

主分类号：G02B5/18(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

发明/设计人:周常河;王 博

主申请人地址:201800上海市800－211邮政信箱

专利代理机构:上海新天专利代理有限公司

代理人:张泽纯

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种用于光纤通信的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期为692-710纳米、刻蚀深度为1.985-2.005微米，光栅的占空比为1/2。