一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法

摘要：

本发明涉及信息光电子技术领域，一种光路折叠式波导光开关阵列及其方法。包括：各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；对连接光波导进行90°转折的若干组微型全内反射镜；光开关驱动电极。在工艺上，这种光路折叠式波导光开关阵列由于需要的芯片尺寸比传统的采用S型弯曲波导连接结构的光开关阵列小若干倍，因此对刻蚀波导工艺均匀性的要求大大降低。在光纤耦合封装工艺上，由于光路折叠式波导光开关阵列可以使输入波导和输出波导位于光开关阵列芯片的同一端面，避免了传统光开关阵列芯片双端耦合对准的问题，可以采用同一光纤阵列在光开关阵列芯片同一端进行单端耦合对准，大大降低了耦合难度和耦合成本。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200610011653.5

申请日期：2006-04-13

公开/公告号：CN101055337

公开/公告日：2007-10-17

主分类号：G02B6/35(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院半导体研究所

发明/设计人:陈少武;刘敬伟;余金中

主申请人地址:100083北京市海淀区清华东路甲35号

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:段成云

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种光路折叠式波导光开关阵列，其特征在于：该波导光开关阵列包括：各级2×2光开关单元；各级2×2光开关单元之间的连接光波导；对连接光波导进行90°转折的若干组微型全内反射镜。