硅片工艺设备用阀门

摘要：

本实用新型涉及一种硅片工艺设备用阀门，其特征在于，由本体、压力环、杆体、出入气端组成，本体内设有压力环，杆体设于压力环两侧的中央，并凸出于本体，杆体内部设有供气体出入且与本体相通的独立气道，在杆体的两外端设有出入气端，本体可在两外端出入气端之间作往复运动。本实用新型的优点是不加长机台长度，工作稳定，组装容易，节约成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200420114792.7

申请日期：2004-12-27

公开/公告号：CN2764985

公开/公告日：2006-03-15

主分类号：F15B15/20(2006.01)I

申请/专利权人:日扬电子科技(上海)有限公司

发明/设计人:吴明田

主申请人地址:200436上海市宝山城市工业园区柳园路358号四楼

专利代理机构:上海申汇专利代理有限公司

代理人:翁若莹

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种硅片工艺设备用阀门，其特征在于，由本体(10)、压力环(101)、杆体(102)、出入气端(103)组成，本体(10)内设有压力环(101)，杆体(102)设于压力环(101)两侧的中央，并凸出于本体(10)，杆体(102)内部设有供气体出入且与本体(10)相通的独立气道(1021)，在杆体(102)的两外端设有出入气端(103)。