MEMS和光调制器阵列的控制

摘要：

具有列线(40)和行线(30)的MEMS器件阵列(10或15)、如光调制器阵列，响应于输入信号，通过提供大量分立电压(70)、从分立电压多路传输将被施加到阵列的每个MEMS器件(20)的一选定电压(21)、并使得选定的分立电压施加到阵列的每个MEMS器件，而得到控制。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200410002541.4

申请日期：2004-01-30

公开/公告号：CN1542499

公开/公告日：2004-11-03

主分类号：G02F1/01

申请/专利权人:惠普开发有限公司

发明/设计人:E·T·马丁;A·皮尔;J·R·普日贝拉;A·L·戈泽尔;P·J·弗里克

主申请人地址:美国德克萨斯州

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司

代理人:吴立明%梁永

国别省市代码:美国;US

权利要求：

1.一种响应于输入信号控制MEMS器件阵列的方法，其中MEMS器件阵列的类型为具有用于选择阵列的特定MEMS器件的列线和行线，所述的方法包括步骤：a)提供大量分立电压；和b)响应于输入信号，从分立电压多路传输将被施加到阵列的每个MEMS器件的选定的分立电压；和c)启动选定的分立电压向阵列的每个MEMS器件的施加。