X射线掩模与石英环紫外固化装置及使用方法

摘要：

一种X射线掩模与石英环紫外固化装置包括：一X射线掩模工作台，该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮；一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方，该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模，X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模；一石英环工作台，该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方，以防止X射线掩模的形变；一紫外光源位于石英环工作台的下方；一平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间；一用于观测对准状况的显微镜位于X射线掩模工作台的上方；所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN03147402.0

申请日期：2003-07-07

公开/公告号：CN1567088

公开/公告日：2005-01-19

主分类号：G03F7/00

申请/专利权人:中国科学院微电子中心

发明/设计人:谢常青;叶甜春;陈大鹏;李兵

主申请人地址:100029北京市德胜门外祁家豁子

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:汤保平

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种X射线掩模与石英环紫外固化装置，其特征在于，包括：一X射线掩模工作台，该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮；一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方，该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模，X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模；一石英环工作台，该工作台包括安装在其上的X方向粗调位移手轮、X方向细调位移手轮、Y方向粗调位移手轮、Y方向细调位移手轮、Z方向粗调位移手轮和Z方向细调位移手轮，该石英环工作台主要用来放置待紫外固化的石英环，该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方，以防止X射线掩模的形变；一紫外光源，用于提供紫外固化所需要的紫外光源，该紫外光源位于石英环工作台的下方；一平行透镜，用于扩束，该平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间；一用于观测对准状况的显微镜，用于观测待紫外固化的X射线掩模和石英环的对准状况，以便位移调节X射线掩模和石英环，该显微镜位于X射线掩模工作台的上方；所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。