气体供应装置及方法

摘要：

本发明提供一种气体供应装置及方法，可以从外部有效率的进行气体容器的加热或冷却，同时可以使供给气体的压力保持在略一定值。朝向载置于设置台(11)上的气体容器底面喷出热媒体的喷嘴插入设置于设置台(11)中央部的贯通孔(18)，并且设置有从气体容器底面与设置台上面之间的空间排出上述热媒体的热媒体排出路径。测定来自气体容器所供给的气体的流量与压力，当测定的流量超过容许流量变动幅度时，根据测量的流量与基准流量之差调节热媒体的温度，当测定的流量在容许流量变动幅度内时，根据量测的压力与基准压力之差调节热媒体的温度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN03100521.7

申请日期：2003-01-14

公开/公告号：CN1435589

公开/公告日：2003-08-13

主分类号：F17C7/04

申请/专利权人:日本酸素株式会社

发明/设计人:田中纯一;折田隆;越后岛真

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京集佳专利商标事务所

代理人:王学强

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1、一种气体供应装置，为一种使载置于一设置台上的一气体容器中所填充的液化气体在该气体容器内气化并供给的气体供应装置，其特征在于，使朝向该气体容器底面喷出热媒体的一喷嘴插入设置于该设置台中央部的一贯通孔，并且设置有从该气体容器底面与该设置台上面之间的空间排出该热媒体的一热媒体排出路径。