位置偏移光学测定装置的调整装置和调整方法

摘要：

本发明旨在简化偏离相互重合位置测定装置的光学系统的调整操作。位置偏移光学测定装置由照射测定标记52的照明光学系统10、使从此测定标记反射的光聚焦，把测定标记的像成像的成像光学系统20、利用此成像光学系统，把成像的测定标记像进行拍摄的CCD摄象机30、由得到的图象信号测量测定标记位置偏移的图象处理装置35、进行自动聚焦调整的自动聚焦装置40构成。在此装置中按顺序进行自动聚焦调整、成像光学系统20的成像孔径光阑23的调整、第2物镜21的调整、照明光学系统10的照明孔径光阑12，从而实现测定误差调整。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN01134973.5

申请日期：2001-11-20

公开/公告号：CN1354395

公开/公告日：2002-06-19

主分类号：G03F7/20

申请/专利权人:株式会社尼康

发明/设计人:福井达雄

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人:武玉琴%朱登河

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

权利要求书1.位置偏移光学测定装置的调整装置，包括照射测定标记的照明光学系统、使从上述测定标记反射的光聚焦，把上述测定标记的像成像的成像光学系统、把利用上述成像光学系统成像的上述测定标记像进行拍摄的摄像装置、对上述摄像装置得到的图象信号进行处理，测量测定标记位置偏移的图象处理装置，其特征为：在此位置偏移光学测定装置中，可对构成照明光学系统和成像光学系统的多个光学要素的位置进行调整，并按所规定的顺序对上述多个光学要素的位置进行调整，从而实现测定误差的调整。