化学增强型正光刻胶组合物和锍盐

摘要：

本发明公开了一种在用220nm或更短波长的光下的平版印刷中具有优良的灵敏度和分辨力，并得到好的轮廓的化学增强型正光刻胶树脂组合物，包括由式(Ⅰ)表示的脂族锍盐,其中每一个Q¹、Q²、Q³和Q⁴独立表示1至6个碳原子的烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q¹和Q²和/或Q³和Q⁴与相邻的硫原子一起形成具有2至8个碳原子并可还具有一个氧原子或硫原子的杂环基，m表示1至8的整数；至少一个∴盐，选自：三苯基锍盐和二苯基碘∴盐，和一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元，并且其本身不溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN01115830.1

申请日期：2001-05-09

公开/公告号：CN1322968

公开/公告日：2001-11-21

主分类号：G03F7/029

申请/专利权人:住友化学工业股份有限公司

发明/设计人:井上博贵;上谷保则

主申请人地址:日本国大阪市

专利代理机构:北京集佳专利商标事务所

代理人:王学强

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

权利要求书1、一种化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征在于：包括：由式(Ⅰ)表示的脂族锍盐其中每一个Q1、Q2、Q3和Q4独立表示1至6个碳原子的烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q1和Q2和/或Q3和Q4与相邻的硫原子一起形成具有2至8个碳原子并可还具有一个氧原子或硫原子的杂环基，m表示1至8的整数；至少一种鎓盐，选自：由下式(Ⅱa)表示的三苯基锍盐和由下式(Ⅱb)表示的二苯基碘鎓盐其中Q5、Q6、Q7和Q8独立表示氢原子、羟基、1至6个碳原子的烷基或1至6个碳原子的烷氧基，p和q表示1至8的整数；和一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元，并且1其本身不溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱。2