0.35微米投影光刻物镜

摘要：

本发明公开的0.35微米投影光刻物镜，是一种大规模集成电路制造设备分步重复投影光刻机的高分辨力投影成像物镜。它由外层密封恒温外套、中间层镜筒、内层为分隔固定光学透镜元件的透镜框组件组成。它克服了目前现有光刻设备投影光刻物镜光刻分辨力低，不能制作高分辨力图形的不足，并且具有双远心特性，结构性能好，制作成本低。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN00109948.5

申请日期：2000-07-26

公开/公告号：CN1335525

公开/公告日：2002-02-13

主分类号：G02B13/24

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

发明/设计人:陈旭南;姚汉民;林妩媚;余国彬

主申请人地址:610209四川双流350信箱

专利代理机构:中国科学院成都专利事务所

代理人:张一红%王庆理

国别省市代码:四川;51

权利要求：

权利要求书1、一种0.35微米投影光刻物镜，包括镜筒和内部透镜框组件，其特征在于：外层为通有恒温水的恒温密封上下外套(38)和(40)，中间层为由镜筒(4)、镜筒(13)、镜筒(17)、镜筒(27)和镜筒(30)构成的镜筒，支撑整个物镜的大法兰(39)包含在其中的一节镜筒(17)中，内层为分隔固定光学透镜元件的透镜框组件(2)、(3)、(5)、(6)、(7)、(8)、(9)、(10)、(11)、(12)、(14)、(15)、(16)、(18)、(19)、(20)、(21)、(22)、(25)、(26)、(28)、(29)、(31)、(32)、(33)、(34)、(35)、(36)、平镜组件(24)和光栏组件(23)。